超高速 温度制御

サンプリング 0.025秒
高速サンプリング モジュールタイプ調節計 SRX
高速デジタル調節計は、理化工業
フィードバック制御の調節計として1秒間に 40回のサンプリングがもたらす効果は、まさに異次元と言って良いでしょう。
モジュールタイプ高速デジタル調節計 SRXシリーズは、今まで不可能と思われていた早い制御系にも0.025秒の高速サンプリングで応えます。
半導体製造プロセスにおけるRTP(Rapid Thermal Process : 急速加熱処理)工程などで、その真価を発揮します。
  • 半導体製造装置
  • ランプヒーター等を用いた高速昇温制御
  • 流量(電流・電圧入力仕様)制御...
等々...
半導体製造装置
モジュールタイプ温度調節計 SRX
モジュールタイプ高速デジタル調節計 SRX
温度制御は理化工業
特 長
制御性を追求した調節器 SRX
高速サンプリング0.025秒 省スペース・省配線
1モジュールで2チャネル制御を実現 高精度 測定値の±0.1%
微細な入力変化を捉える高分解能 通信機能
プログラム制御機能 デジタル入出力 New!

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SRX高速サンプリング調節計の性能を最大限に活用するために入力である熱電対,白金測温抵抗体等センサには高速応答で高精度の物をご使用願います。
操作器(ソリッド ステート リレー:SSR,サイリスター制御ユニット:SCR等々)および熱源(温度制御の場合:ヒーター等)に於いても応答性の早い物をご使用願います。

プロセス調節計 SRX
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