应用案例集
■湿式处理站药液的温度，液位管理
在半导体制造的刻蚀，清洗工艺中高腐蚀性药液被使用。药液的温度，液面的液位测量时高耐蚀性的传感器被使用
＞＞优点介绍
- 可以测量腐蚀应药液的温度，液面的液位，液位检测
典型对应机器
PFA包皮温度传感器
FR-100（铂电阻）/ FT-100（热电偶）
铂电阻或者热电偶的PFA管包覆对应药液温度传感器。电线也被PFA管包覆实现优秀的耐蚀性。
※照片是FR-100
背压式液位计
LE100 / LE110
- 用1根导管测量液位和输出8点液位警报
- 导管上的附着物等不影响测量精度
- 配备比重补偿功能（不需要实际液体）和一键式空载调整功能
- 除液位计之外，可用作夜量计和压力计
- LE110在氛围气压变动的环境也可以测量
数字显示控制器（温度控制器）
RS系列（RS100 / RS400）
- 测量精度：显示值的±0.2%
- 取样周期：0.25秒
- 插件构造