半导体行业

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■灯退火等高速升温控制

高速升温时使用高速采样的控制器和快速响应调节器

■扩散炉的串级温度控制

希望温度控制的部分和热源之间有较大时间滞后时，采用串级温度控制。一次控制器（主）的控制输出，输入给二次控制器（从）。二次控制器，利用一次控制器的输出不断修正温度设定值，进行热源温度控制。 用1台FZ400 / FZ900可以实现串级控制。

■OLED/LCD大型烧结炉用多点温度控制

OLED/LCD面板烧结工序中，面板大型化导致烧成炉的温度控制点数增加。用模块控制器可以构筑小型多点温度控制。

■湿式处理站药液的温度，液位管理

在半导体制造的刻蚀，清洗工艺中高腐蚀性药液被使用。药液的温度，液面的液位测量时高耐蚀性的传感器被使用

■测量烧结，接着玻璃基板时的温度分布

通过测量烧结，接着时玻璃基板的温度分布，或者粘合玻璃基板的温度，可以核实收集温度曲线或者获得最适温度

■验证功率模块的散热设计

测量半导体功率模块实际使用时的温度可以实现以零件为单位的温度测量。可以容易测量微小零件的温度。