功率调节器

THV

■扩散炉的串级温度控制

希望温度控制的部分和热源之间有较大时间滞后时，采用串级温度控制。一次控制器（主）的控制输出，输入给二次控制器（从）。二次控制器，利用一次控制器的输出不断修正温度设定值，进行热源温度控制。 用1台FZ400 / FZ900可以实现串级控制。

■T模的高精度温度控制

利用功率调节器可以实现细腻高精度温度控制 利用弊社SRZ的自动升温功能（全通道同梯度升温）实现T模全体的均匀升温