应用案例集
■T模的高精度温度控制
利用功率调节器可以实现细腻高精度温度控制
利用弊社SRZ的自动升温功能（全通道同梯度升温）实现T模全体的均匀升温
＞＞优点介绍
- 利用细腻高精度的温度控制，提高薄膜质量
- 利用T模全体均匀升温，可以缩短设备的启动时间
典型对应机器
模块型控制器（过程/温度控制器）
SRZ
- 测量精度：显示值的±0.2%
- 取样周期：0.25秒
- 1台能控制4通道
- 对应前面专用通信
- 插件构造
- 提供数字输入输出·CT输入模块
- 能连接各种现场总线的通信变换器
功率调节器
THV
利用4～20mA等模拟量信号，连续，精密地控制加热器功率供给的设备。可以选择控制电压波形的相位控制方式，或者控制电源周期，低干扰的零交叉控制方式。相位控制方式，有软启动功能可以控制浪涌电流较大的加热器或者变压器一次侧。