RKC 理化工业株式会社

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RKC 理化工业株式会社 > 应用案例集 > 按行业分类 > 半导体行业 > 扩散炉的串级温度控制

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■扩散炉的串级温度控制

希望温度控制的部分和热源之间有较大时间滞后时,采用串级温度控制。一次控制器(主)的控制输出,输入给二次控制器(从)。二次控制器,利用一次控制器的输出不断修正温度设定值,进行热源温度控制。 用1台FZ400 / FZ900可以实现串级控制。

 

 

>>优点介绍


  • 可以抑制有时间滞后的控制系统的超调
  • 一台FZ400 / FZ900可以实现串级控制

典型对应机器

数字显示控制器(过程/温度控制器)
FZ(FZ400/FZ900)

  • 测量精度:显示值的±0.1%
  • 取样周期:0.05秒
  • 11段5位数字显示
  • 对应前面专用通信
  • 2输入功能(FZ400/FZ900)
  • 插件构造(FZ400/FZ900)

単相電力調整器
THV

利用4~20mA等模拟量信号,连续,精密地控制加热器功率供给的设备。可以选择控制电压波形的相位控制方式,或者控制电源周期,低干扰的零交叉控制方式。相位控制方式,有软启动功能可以控制浪涌电流较大的加热器或者变压器一次侧。

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