RKC 理化工业株式会社

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RKC 理化工业株式会社 > 应用案例集 > 按行业分类 > 半导体行业 > 灯退火等高速升温控制

应用案例集

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■灯退火等高速升温控制

高速升温时使用高速采样的控制器和快速响应调节器

>>优点介绍


  • 用高速升温的温度控制可以抑制超调,提高生产性。

典型对应机器

数字显示控制器(过程/温度控制器)
FZ110 / FZ400 / FZ900

  • 测量精度:显示值的±0.1%
  • 取样周期:0.05秒
  • 11段5位数字显示
  • 对应前面专用通信
  • 2输入功能(FZ400/FZ900)
  • 插件构造(FZ400/FZ900)

功率调节器
THV

利用4~20mA等模拟量信号,连续,精密地控制加热器功率供给的设备。可以选择控制电压波形的相位控制方式,或者控制电源周期,低干扰的零交叉控制方式。
相位控制方式,有软启动功能可以控制浪涌电流较大的加热器或者变压器一次侧。

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