RKC メールマガジン Vol.13
平成17年12月01日

1.セミコンジャパン 2005 出展のお知らせ
ピン セミコンジャパン 2005 ( SEMICON Japan 2005 )
日 程: 2005年 12月7日(水)〜9日(金)
会 場: 幕張メッセ SEMICON Japan 2005
ブース: 6A-801
URL : http://wps2a.semi.org/wps/portal/_pagr/127/_pa.127/418
この機会に是非、RKC理化工業製品をご覧願います。
皆様のご来場を社員一同、心よりお待ち申し上げます。
なお、12月9日まで展示会主催者ホームページにて事前登録を受け付けていますので、ご登録の上、ご来場頂ければと存じます。



2.セミコンジャパン 2005 直前特集 <半導体関連 アプリケーション例>
国内最大規模の半導体関連展示会であるセミコンジャパン 2005 も開幕間近!
RKCメールマガジンもセミコンジャパン直前特集です。
各アプリケーション内容は参考で紹介してあります。実際に導入される場合は、使用する機器が装置と適合するか、仕様等をあらかじめご確認ください。
また、確実な試験運転と、装置システム保護のため、適切な外部保護装置を設置してください。


ステッパ、コータ・デベロッパの高安定温度制御
高度な温度安定性を求められるステッパ等の半導体製造装置には、1/1000℃の分解能を持ち電源電圧の微細な変動にも対応するパワーフィードフォワード入力機能を持つ温度調節計 REX-F9000型が最適です。
ステッパ、コータ・デベロッパの高安定温度制御の説明図
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チャンバの高応答温度制御・ランプアニーラの高速昇温制御
半導体製造プロセスにおけるRTP(Rapid Thermal Process : 急速加熱処理)工程には、0.025秒の高速サンプリングで制御する温度調節計 HAシリーズ(HA900, HA400),SRXシリーズと高速制御に対応している電力調整器 THV型(単相),THW型(三相)が最適です。
チャンバの高応答温度制御・ランプアニーラの高速昇温制御の説明図
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ワイヤボンダの温度制御
ワイヤボンダの温度制御には、小型温度調節計 CB103シリーズ、またはモジュールタイプ温度調節計 SRVシリーズをお奨め致します。
MODBUSプロトコル通信による操作パネルへの接続、またはアナログ出力を用いた記録計 SBR-EWシリーズによる温度データ管理が可能です。
ワイヤボンダの温度制御の説明図
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PDP/LCD大型焼成炉の多点温度制御
1000点以上の温度制御を必要とする大型焼成炉においても理化工業の温度制御技術によるボード型カスタム調節計を用いれば省スペース・省配線システムを実現できます。
320点までならば、モジュールタイプ調節計 SR Mini HG シリーズもございます。
さらに、汎用操作パネル(オリジナル画面作成も承ります)を利用した温度管理システム構築等のエンジニアリングも可能です。
PDP/LCD大型焼成炉の多点温度制御の説明図
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ウェットステーション薬液の温度・レベル管理
プログラムレスで温度データをPLCでの一括管理を可能にするMAPMAN通信変換器(COM-E, COM-JE)と温度調節計 CBシリーズ, SA200, FBシリーズ(FB900, FB400)をお奨めします。
薬液レベルをチューブ1本にて測定可能なLE100型背圧式レベル計やゲージ圧と雰囲気圧(環境圧)の差圧からレベル測定可能なLE110差圧検出型背圧式レベル計など装置に合わせてご利用頂けます。
ウェットステーション薬液の温度・レベル管理の説明図
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3.Club RKC 更新情報
取扱説明書
SA200 改訂 (05/11/10) 48mm×24mm超小型温度調節計
CADファイル
THV 改訂(45A,60A) (05/11/10) 高性能 単相サイリスタユニット
旧来製品
DP-500 追加 (05/11/10) ハンディタイプ温度計

 →→→ Club RKC はこちら!

 →→→ FBシリーズの特集はこちら!


4.Q&A 『温度調節計 Vol.8』
Q: 温度制御でリレー接点出力を選ぶメリットは、何ですか?
A:  リレー接点出力は、有接点出力なので電気的寿命や接続される電磁接触器の動作音、振動、ノイズ等々のデメリットがあります。また、近年の高性能、低価格化が進んだSSR(ソリッド・ステート・リレー)に比べると敢えて選択するメリットが少ないと思われる方も多いかと存じます。しかし、電気的に完全に電流を遮断する手段は、リレー接点出力の温度調節計+電磁接触器の組み合わせになります。漏れ電流が許容できない場合は、リレー接点出力+電磁接触器が有効です。
大電流の場合は、SSRやSCRよりコストパフォーマンスに優れる場合もあります。
動作の確認やメンテナンス性が容易である事もメリットと考えられます。

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