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■拡散炉のカスケード温度制御

温度制御したい部分と、ヒータとの間に大きな時間遅がある場合はカスケード制御が有効です。一次調節計（マスタ）の制御出力を二次調節計（スレーブ）のリモート設定入力に接続します。スレーブは、マスタの制御出力を温度設定値としてヒータの温度制御を行います。

FZ400 / FZ900は1台でカスケード制御が可能です。
　

＞＞導入によるメリット

  • 時間遅れがある制御系でもオーバーシュートが抑制できます。
  • FZ400 / FZ900は1台でカスケード制御が可能です。

代表対応機器

デジタル指示調節計（プロセス/温度調節計）
FBシリーズ（FB400 / FB900）

●測定精度：表示値の±0.1%
●サンプリング周期：0.1秒
●豊富なイベント入出力
●ローダ通信対応
●コントローラ間通信
●プラグイン構造

デジタル指示調節計（プロセス/温度調節計）
FZシリーズ（FZ400 / FZ900）

●測定精度：表示値の±0.1%
●サンプリング周期：0.05秒
●11セグメント5桁LCD表示
●前面ローダ通信対応
●2入力機能（FZ400 / FZ900）
●プラグイン構造（FZ400 / FZ900）

単相電力調整器
THVシリーズ

●４～20mAなどのアナログ信号を入力し、ヒータへの電力供給を連続的にきめ細かく調整する機器です。電源の波形を制御する位相制御方式と電源のサイクルを制御する低ノイズなゼロクロス制御方式を選択できます。位相制御方式ではソフトスタート機能を使用することにより突入電流が大きなヒータや変圧器の一次側制御が可能です。