電力調整器

単相電力調整器
THVシリーズ

■ランプアニールなどの高速昇温制御

温度が高速に昇温する場合は、高速なサンプリングの調節計、応答性の速い操作器を使用します。

■拡散炉のカスケード温度制御

温度制御したい部分と、ヒータとの間に大きな時間遅がある場合はカスケード制御が有効です。一次調節計（マスタ）の制御出力を二次調節計（スレーブ）のリモート設定入力に接続します。スレーブは、マスタの制御出力を温度設定値としてヒータの温度制御を行います。

■Tダイの高精度温度制御

電力調整器を利用した緻密で高精度な温度制御が可能です。 弊社SRZの自動昇温機能（全チャネルが同じ勾配で昇温）を使用すればTダイ全体の均一な昇温が可能です。