半導体業界

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■ランプアニールなどの高速昇温制御

温度が高速に昇温する場合は、高速なサンプリングの調節計、応答性の速い操作器を使用します。

■拡散炉のカスケード温度制御

温度制御したい部分と、ヒータとの間に大きな時間遅がある場合はカスケード制御が有効です。一次調節計（マスタ）の制御出力を二次調節計（スレーブ）のリモート設定入力に接続します。スレーブは、マスタの制御出力を温度設定値としてヒータの温度制御を行います。

■OLED/LCD大型焼成炉の多点温度制御

OLED/LCDパネルを焼成する工程では、パネルの大型化により焼成炉の温度制御点数も増えてきます。モジュール型調節計で多点温度制御をコンパクトに構築可能です。

■精密チラーの高精度温度制御

Z-TIO-Gは0.001℃の高分解能、高精度で安定した温度制御が可能です。

■ウェットステーション薬液の温度・レベル管理

半導体製造のエッチング、洗浄工程では腐食性の高い薬液が使われます。この薬液の温度、液面レベルの測定では耐食性の高いセンサを使用します。

■ガラス基板焼成、接着時の温度分布測定

焼成、接着時のガラス基板の温度分布やガラス基板貼り合わせ部の温度を測定し、温度プロファイル収集や最適な温度となるように温度検証が可能です。

■パワーモジュールの発熱温度検証

半導体パワーモジュールの実働時の温度測定が部品単位で行えます。細かな部品の温度が手軽に測定可能です。