アプリケーション集

■ウェットステーション薬液の温度・レベル管理

半導体製造のエッチング、洗浄工程では腐食性の高い薬液が使われます。この薬液の温度、液面レベルの測定では耐食性の高いセンサを使用します。

＞＞導入によるメリット

 

  • 腐食性薬液の温度測定、液面レベル測定、レベル検出が可能となります。

代表対応機器

PFA被服温度センサ
FR100（測温抵抗体）/ FT100（熱電対）

●測温抵抗体または熱電対をPFAチューブで被覆した薬液対応の温度センサ。ケーブル全体にもPFAチューブ被覆されており、耐湿性にも優れます。

※画像はFR-100

背圧式レベル計
LE100 / LE110

●1本のチューブでレベル測定と８点のレベル出力が可能

●チューブへの付着物などの影響なし

●実液による補正が不要な比重補正機能やワンタッチで可能なエンプティ、スパン調整機能を搭載

●レベル計のほか液量計、圧力計としても使用可能

●LE110は雰囲気圧が変動する環境でも測定が可能

背圧式レベルスイッチ
LT1

●1本のチューブで液体の上限または下限レベルを検出

●チューブへの付着物などの影響なし

●PFA等のチューブを使用することにより、腐食性液体でもレベル検出システムを構築可能

●小型ながら本体に半導体式圧力センサとオリフィスを内蔵

●20±1kPa程度のチューブ内エアパージをかけるだけで簡単に使用可能

静電容量式レベルセンサ/レベル計
CP1シリーズ / RMC500

●腐食性液体、導電/非導電性液体、誘電率変化など様々な測定条件に対応

●密閉式タンクでの使用や雰囲気圧の変動に対して影響なし

●レベル測定用の主電極に接地電極、リファレンス電極を組み合わせた電極も用意

●電極ヘッドに電子回路が無いため優れた信頼性と耐久性を実現

●RMC500は表示器、変換器として使用可能で専用ソフトウェアで簡単セットアップが可能

デジタル指示調節計（温度調節計）
RZシリーズ（RZ100 / RZ400）

●測定精度：表示値の±0.2%

●サンプリング周期：0.25秒

●ローダ通信対応

●プラグイン構造