アプリケーション集
レベルセンサ
CP1 / RMC-500
- ■ウェットステーション薬液の温度・レベル管理
- 半導体製造のエッチング、洗浄工程では腐食性の高い薬液が使われます。この薬液の温度、液面レベルの測定では耐食性の高いセンサを使用します。
背圧式レベル計
LE100
- ■ウェットステーション薬液の温度・レベル管理
- 半導体製造のエッチング、洗浄工程では腐食性の高い薬液が使われます。この薬液の温度、液面レベルの測定では耐食性の高いセンサを使用します。
背圧式レベルスイッチ
LT1
- ■ウェットステーション薬液の温度・レベル管理
- 半導体製造のエッチング、洗浄工程では腐食性の高い薬液が使われます。この薬液の温度、液面レベルの測定では耐食性の高いセンサを使用します。