PFA被覆温度センサ
FR-100 / FT-100

PFA被覆温度センサ
FR-100 / FT-100

■ウェットステーション薬液の温度・レベル管理

半導体製造のエッチング、洗浄工程では腐食性の高い薬液が使われます。この薬液の温度、液面レベルの測定では耐食性の高いセンサを使用します。