アプリケーション集
PFA被覆温度センサ
FR-100 / FT-100
PFA被覆温度センサ
FR-100 / FT-100
![ウェットステーション薬液の温度・レベル管理](https://www.rkcinst.co.jp/wp-content/uploads/2019/04/wetstation_01_01_01.jpg)
- ■ウェットステーション薬液の温度・レベル管理
- 半導体製造のエッチング、洗浄工程では腐食性の高い薬液が使われます。この薬液の温度、液面レベルの測定では耐食性の高いセンサを使用します。