LE110のパージガスの消費流量は、パージガス圧力が20kPaの時で 80～200ml/min です。
LE100はオリフィスを内蔵しておりませんので、お客様の設備により調整してください。
（推奨：パージ圧力 20±1kPa、パージガス流量 50±5ｍL/min）

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