FAQ

LE100に使用するパージガスは「高純度窒素ガスを使用する」と取説にありますが、空気をパージガスとして使用することは可能でしょうか?

パージガスに空気を使用することは可能ですが、LE100内部にある圧力素子の故障の原因になりますので、以下の措置が必要となります。
・乾燥空気を使用してください。
・フィルター等で0.3μm以上のゴミや油分を除去してください。

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