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デジタル指示調節計[プロセス/温度調節計](1)

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48mm角デジタル調節計 FB100製品写真
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FB100 デジタル指示調節計[プロセス/温度調節計]

48mm角、短い奥行き74mmに優れた拡張性を凝縮!
既にご好評を頂いているFB900, FB400に搭載されている多くの機能を48mm角の小さなボディに搭載しました。
応答性重視と追従性重視、2種類のPID制御から選択できる『ブリリアントUPID』を搭載したデジタル指示調節計[プロセス/温度調節計]です。
用途に合わせてサンプリング周期を0.05秒(高速サンプリングタイプ)/0.1秒(標準タイプ)/0.25秒(高分解能タイプ)から切り換え可能です。
精度、±0.1%,立ち上がり時の温度特性からPID定数を自動演算するスタートアップチューニングマルチメモリエリア機能(設定変化率リミッタ,リンクエリア,ソーク時間を利用する事により簡易プログラム制御機能を実現),コントローラ間通信を利用したグループ運転機能学習機能付き自動昇温カスケード制御温度比率設定グループRUN/STOP),高速なデータ収集を実現するデータマッピング機能(MODBUS)など、多種多彩な機能を付加する事ができます。


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FB900, FB400 デジタル指示調節計[プロセス/温度調節計]

短い奥行き60mmに優れた拡張性を凝縮!
応答性重視と追従性重視、2種類のPID制御から選択できる『ブリリアントUPID』を搭載したデジタル指示調節計[プロセス/温度調節計]です。
用途に合わせてサンプリング周期を0.05秒(高速サンプリングタイプ)/0.1秒(標準タイプ)/0.25秒(高分解能タイプ)から切り換え可能です。
精度、±0.1%,立ち上がり時の温度特性からPID定数を自動演算するスタートアップチューニング(*1),マルチメモリエリア機能(設定変化率リミッタ,リンクエリア,ソーク時間を利用する事により簡易プログラム制御機能を実現),パワーフィードフォワード機能,コントローラ間通信を利用したグループ運転機能学習機能付き自動昇温(*1),カスケード制御温度比率設定グループRUN/STOP),高速なデータ収集を実現するデータマッピング機能(MODBUS)など、多種多彩な機能を付加する事ができます。

*1: 加熱冷却制御および位置比例制御には、学習機能付き自動昇温機能を付加する事はできません。

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温度調節計 FBシリーズ用フィールドネットワーク接続通信変換器 COM-J シリーズ

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温度調節計 FB900, FB400 製品写真
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高速温度調節計(温調計)HA900, HA400製品写真
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HA900, HA400 高速デジタル指示調節計[プロセス/温度調節計] 

1秒間に40回の超高速フィードバック制御を実現!
 速い制御系に対応するサンプリング周期0.025秒の高速デジタル指示調節計[プロセス/温度調節計]です。
精度、±0.1%2チャネル制御対応,マルチメモリエリア機能(設定変化率リミッタ,リンクエリア,ソーク時間を利用する事により簡易プログラム制御機能を実現),カスケード制御機能パワーフィードフォワード機能2系統通信ポートなど、多彩な機能を付加することができます。
高速な温度制御が求められる半導体製造プロセスにおけるRTP(Rapid Thermal Process:急速加熱処理)工程などの温度調節計(温度調節器)として最適です。

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REX-F9000 高分解能デジタル指示調節計[温度調節計]

温度制御は新たな領域へ
 0.001℃の分解能を実現した高分解能デジタル指示調節計[温度調節計]の誕生です。
精度、±0.05℃(計器周囲温度23℃±5℃),サンプリング周期0.1秒4線式白金測温抵抗体入力2チャネル制御対応など、近年益々加速する高精度,高分解能へのニーズに応えます。
高度な温度制御安定性を保つために制御には、当社独自のブリリアントPIDを採用し、さらに負荷の電圧が変化しても制御温度が乱れないようにPID出力に電力フィードフォワードをかけています。

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高性能温度調節計(温調計)REX-F9000製品写真
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温度調節計(温調計)REX-F シリーズ製品写真

REX-F シリーズ デジタル指示調節計[プロセス/温度調節計]

 温度制御の万能選手♪
デジタル指示調節計[プロセス/温度調節計]として、機能的に配置されたシンプルなキースイッチと、わかりやすい表示キャラクタにより見たい設定画面を簡単に見つけることができ、設定が簡単です。制御出力値あるいは設定値と測定値の偏差を表示できるバーグラフは制御状態の確認を容易にでき、豊富なオプション機能との組み合わせにより温度制御のみならず、さらに広いプロセスに対応します。

簡易仕様(REX-F900, REX-F700, REX-F400)へ

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REX-D シリーズ デジタル指示調節計[温度調節計]

 変幻自在の温調計!
ユニバーサル入力(各種熱電対,白金測温抵抗体,電圧入力等)およびユニバーサル出力(D100を除く)により、用途に応じて計器を自由にプログラムすることが可能な温度調節計(温度調節器)です。さらにファジー機能を搭載したことで、オーバーシュートやアンダーシュートを防止します。精度は±0.3%、サンプリング周期は0.5秒です。

簡易仕様(REX-D900, REX-D400, REX-D100)へ

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温度調節計(温調計)REX-D series製品写真

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